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        小型薄膜激光刻蝕機

        小型薄膜激光刻蝕設備

        適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。(1)設備型號:YLET1010MG (2)本設備系統由三大部分組成:主機、冷水機、抽塵機。 (3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。 (4)加工幅面為:100*100mm。

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        一、系統介紹激光刻蝕機

        (1)設備型號:YLET1010MG

        (2)本設備系統由三大部分組成:主機、冷水機、抽塵機。

        (3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。

        (4)加工幅面為:100*100mm。


                二、主要技術參數

        序號

        項目名稱

        技術參數

        1

        設備型號

        YLET1010MG

        2

        激光器

        納秒綠光激光器

        3

        波長

        532nm

        4

        功率

        5W

        5

        激光器頻率調節范圍

        30K-100KHZ

        6

        加工幅面

        100*100mm

        7

        聚焦光斑

        ≥50um(100mm幅面)

        8

        CCD抓靶精度

        ±10um

        9

        X/Y運動模組重復定位精度

        ±10um

        10

        刻蝕最小線寬

        ≥50um(100mm幅面)

        11

        最小線間隔距

        ≥50um(100mm幅面)

        12

        刻蝕速度

        <3000mm/S

        13

        主機設備尺寸

        1050*700*1660mm(L*W*H)

        14

        冷水機尺寸

        580*290*520mm(L*W*H)

        15

        抽塵機尺寸

        600*500*800mm(L*W*H)

        16

        主機設備重量

        300KG

        17

        主機額定功率

        3000W

        18

        可處理的文件格式

        標準CAD版本DXF文件


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